ตู้เก็บของเวเฟอร์สแตนเลสให้การจัดเก็บที่สะอาดและมีความชื้นต่ำสำหรับทั้งห้องคลีนรูมและงานประกอบอิเล็กทรอนิกส์ตู้ได้รับการออกแบบเพื่อรับน้ำหนักสูงสุดและความทนทานตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสติดตั้งช่องเติมไนโตรเจนเพื่อล้างพื้นที่ทำงานเพื่อป้องกันการจัดเก็บ รายการจากการถูกออกซิไดซ์ ตู้แห้ง N2 ทั้งหมดทำด้วยกระจก SUS#304
รุ่น: TDN320S
ความจุ: 320L
ความชื้น: ปรับ 1%-60%RH
ชั้นวาง 3 ชิ้น ปรับสูงต่ำได้
สี: กระจกสแตนเลส 304
ขนาดภายใน: W898*D422*H848 MM
ขนาดภายนอก: W900*D450*H1010 MM
คำอธิบาย
Climatest Symor® เป็นเวเฟอร์ตู้เก็บสแตนเลสผู้ผลิตในประเทศจีน ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสมีการติดตั้งระบบล้างไนโตรเจน ซึ่งให้การควบคุมความชื้นต่ำอัตโนมัติ มันสามารถวัดและแสดงความชื้นภายในตู้เก็บแผ่นเวเฟอร์สแตนเลส ช่วงความชื้นที่ปรับได้คือ 1 -60%RH ตู้ SS N2 รักษาแรงดันบวกเพื่อให้ได้สภาพแวดล้อมการจัดเก็บความชื้นที่สะอาดและต่ำ เมื่อความชื้นภายในสูงกว่าจุดที่ตั้งไว้ ระบบจะเปิดใช้งานระบบกำจัดไนโตรเจนโดยอัตโนมัติ เมื่อความชื้นภายในบรรลุจุดที่กำหนด ระบบจะหยุดการทำงานโดยอัตโนมัติ ระบบล้างช่วยประหยัดการใช้ไนโตรเจน 70%
ข้อมูลจำเพาะ
โหมด # พร้อม F: ฟังก์ชั่น ESD, สีน้ำเงินเข้ม โหมด # ไม่มี F: ไม่มีฟังก์ชัน ESD สีขาวนวล
แบบอย่าง |
ความจุ |
ขนาดภายใน (กว้าง×ลึก×สูง มม.) |
มิติภายนอก (กว้าง×ลึก×สูง มม.) |
กำลังเฉลี่ย (W) |
น้ำหนักรวม (กก.) |
แม็กซ์ โหลด/ชั้น (กก.) |
TDN98S |
98L |
446*372*598 |
448*400*688 |
8 |
31 |
50 |
TDN160S |
160L |
446*422*848 |
448*450*1010 |
10 |
43 |
50 |
TDN240S |
240L |
596*372*1148 |
598*400*1310 |
10 |
57 |
50 |
TDN320S |
320L |
898*422*848 |
900*450*1010 |
10 |
70 |
80 |
TDN435S |
435L |
898*572*848 |
900*600*1010 |
10 |
82 |
80 |
TDN540S |
540L |
596*682*1298 |
598*710*1465 |
10 |
95 |
80 |
TDN718S |
718L |
596*682*1723 |
598*710*1910 |
15 |
105 |
80 |
TDN870S |
870L |
898*572*1698 |
900*600*1890 |
15 |
130 |
100 |
TDN1436S-4 |
1436L |
1198*682*1723 |
1200*710*1910 |
25 |
189 |
100 |
TDN1436S-6 |
1436L |
1198*682*1723 |
1200*710*1910 |
25 |
189 |
100 |
ลักษณะเฉพาะ
·ใช้เซ็นเซอร์ความชื้นและอุณหภูมินำเข้าจากสวิสเซอร์แลนด์
-ความแม่นยำของเซ็นเซอร์ความชื้นคือ +/-2% ความแม่นยำของเซ็นเซอร์อุณหภูมิคือ +/-1.0â
· ทำจากสแตนเลสเสริมเหล็ก 304 ออกแบบสำหรับห้องคลีนรูม
- โครงสร้างแข็งแรง รับน้ำหนักได้ดีเยี่ยม เคลือบพื้นผิวกระจกพร้อมอายุการใช้งานที่ทนทาน
·พร้อมกับโมดูล QDN
- เมื่อความชื้นภายใน Wafer Storage Cabinets Stainless Steel บรรลุจุดที่กำหนด ระบบจะปิดการจ่ายไนโตรเจนโดยอัตโนมัติ และเริ่มต้นใหม่อีกครั้งเมื่อความชื้นสูงกว่าจุดที่ตั้งไว้ ซึ่งจะช่วยประหยัดการใช้ N2 ได้อย่างมาก
· มีสัญญาณเตือนความชื้นเกิน + สัญญาณเตือนการเปิดประตู และระบบบันทึกข้อมูล (ไม่จำเป็น)
- หากความชื้นภายในสูงกว่าค่าที่ตั้งไว้ 2-3 จุด ระบบจะแจ้งเตือนด้วยเสียงและแสงทันที
- หากประตูเปิดหรือปิดไม่ถูกต้องจะมีเสียงและไฟเตือนทันที
- Data logger ช่วยให้สามารถตรวจสอบและลดอุณหภูมิและความชื้นแบบเรียลไทม์บนพีซีได้
·ตัวเตือนการสอบเทียบ
- มีการออกแบบที่เป็นเอกลักษณ์ของฟังก์ชันเตือนการหมดอายุของการสอบเทียบใน Wafer Storage Cabinets Stainless Steel
ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสทำงานอย่างไร?
ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสใช้แหล่งก๊าซไนโตรเจนภายนอกเพื่อเติมตู้ เพื่อแทนที่อากาศเดิมภายใน เพื่อให้ตู้ภายในอยู่ในบรรยากาศรอบ ๆ ไนโตรเจน ซึ่งสามารถลดความชื้นและปริมาณออกซิเจนได้อย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ
ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสถูกใช้อย่างมืออาชีพในการจัดเก็บส่วนประกอบที่ไวต่อความชื้นและวงจรรวมต่าง ๆ เพื่อป้องกันไม่ให้ความชื้นเสียหาย ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสใช้กันอย่างแพร่หลายในการจัดเก็บเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ Climatest Symor® ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสมีข้อดีที่ชัดเจนเมื่อเทียบกับตู้เติมไนโตรเจนโดยตรงทั่วไป ซึ่งสามารถประหยัดการใช้ไนโตรเจนอย่างมาก และลดต้นทุนการดำเนินงาน
x
ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสใช้เซ็นเซอร์ RH นำเข้าจากสวิตเซอร์แลนด์ที่มีความแม่นยำสูงพร้อมความแม่นยำ 2%
ความเสียหายจากความชื้นบนชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์คืออะไร?
ความเสียหายจากความชื้นมีอยู่ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ดังนี้
1. แผ่นเวเฟอร์หรือผลิตภัณฑ์กึ่งสำเร็จรูปหลังจากเปิด และฟิล์ม พื้นผิวแก้วทรานซิสเตอร์-LCD จะชื้นและขึ้นราภายใต้การจัดเก็บที่ไม่เหมาะสม
2. การเกิดออกซิเดชันของชิ้นส่วนโลหะของตัวเชื่อมต่อไฟเบอร์ออปติก K gold, การเชื่อมวัสดุลวดทอง, วัสดุทองแดง Leadframe
3. กระป๋อง "นิ้วทอง" ที่กระเด็นจากไอเสียระเบิดของพื้นผิว PCB ในระหว่างการไหลซ้ำ
4. วงจรรวม IC (รวมถึง QFP/Ball Grid Array/CSP) และส่วนประกอบอื่นๆ ถูกออกซิไดซ์ภายในและลัดวงจรระหว่างการจัดเก็บ และรอยแตกขนาดเล็กภายใน การแยกและการแยกชั้น และปรากฏการณ์ "ป๊อปคอร์น" ระหว่างการบัดกรี
การจัดเก็บปกติ |
กระบวนการรีโฟลว์ |
||
|
|
|
|
ความชื้นในสิ่งแวดล้อมแทรกซึมเข้าไปในบรรจุภัณฑ์ |
ในระหว่างการให้ความร้อน แรงดันไอน้ำจะเพิ่มขึ้น ซึ่งจะแยกแม่พิมพ์และเรซินออกจากกัน |
ไอน้ำยังคงขยายตัวภายใต้ความร้อน ทำให้บรรจุภัณฑ์แตก |
ไอน้ำจากน้ำทำให้บรรจุภัณฑ์แตก ซึ่งทำให้เกิดการแตกร้าวขนาดเล็ก |
การใช้ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสคืออะไร?
ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสหรือตู้ไนโตรเจนสแตนเลสส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์มหาวิทยาลัยและห้องปฏิบัติการตู้เก็บแผ่นเวเฟอร์สแตนเลสใช้ระบบล้างไนโตรเจนเพื่อแทนที่อากาศภายในตู้เดิมเพื่อให้เกิดการต่อต้านอนุมูลอิสระ และการจัดเก็บที่มีความชื้นต่ำ เหมาะสำหรับจัดเก็บวงจรรวม (IC) เช่น LSI วงจรรวมขนาดใหญ่แบบเสาหิน และบรรจุภัณฑ์ BGA และอื่นๆ
ยิ่งไปกว่านั้น ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสอย่างมีประสิทธิภาพช่วยป้องกันบอร์ด PCB ไม่ให้ถูกความชื้นแตกเป็นชั้นๆ และปกป้องส่วนประกอบที่ไวต่อความชื้นของ SMD ไม่ให้เสียหายระหว่างกระบวนการบัดกรี ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสมักใช้ในสายการผลิต SMT และอุตสาหกรรมที่มีความต้องการสูงสำหรับการป้องกันออกซิเดชันของวัสดุ เช่น อุตสาหกรรมการทหาร สถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การผลิต LED การผลิตวงจรรวม การผลิตจอ LCD และพื้นผิวระดับไฮเอนด์ เทคโนโลยีที่ติดตั้ง
เวเฟอร์ตู้เก็บของสแตนเลสลักษณะ:
ตู้ล้างไนโตรเจน N2 สแตนเลส
การออกแบบโมดูลาร์อิสระ: ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสใช้การออกแบบโมดูลาร์ที่ได้รับการจดสิทธิบัตร การแสดงอุณหภูมิและความชื้น ระบบควบคุม โมดูลไนโตรเจนสามารถเปลี่ยนได้อย่างรวดเร็ว การบำรุงรักษาทำได้ง่าย ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการบำรุงรักษาได้อย่างมาก
การออกแบบด้านสิ่งแวดล้อม: ตู้เก็บแผ่นเวเฟอร์ทั้งหมดเป็นสแตนเลสไม่ก่อให้เกิดของเสียที่ก่อให้เกิดมลพิษต่อสิ่งแวดล้อม รุ่นนี้ออกแบบมาเพื่อการใช้งานในระยะยาวหากโครงสร้างหลักของตัวเครื่องสมบูรณ์ไม่ทำลายล้างเพียงต้องตรวจสอบและเปลี่ยนโมดูลที่ชำรุดเป็นระยะเท่านั้นจึงสามารถใช้งานได้ตลอดไปนี่คือการออกแบบสีเขียวล่าสุดที่สอดคล้อง เพื่อรักษาสิ่งแวดล้อม
ใช้งานง่าย: ไม่มีการตั้งค่าที่ซับซ้อน และบุคลากรไม่ต้องการการฝึกอบรม เครื่องเพียงต้องการเสียบปลั๊ก สามารถทำงานได้โดยอัตโนมัติอย่างเต็มที่ เป็นตู้เก็บสเตนเลสสตีลเกรดอุตสาหกรรมที่มีประสิทธิภาพ ไม่เพียงแต่ช่วยประหยัดค่าใช้จ่ายในการฝึกอบรมบุคลากร แต่ยังช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตของโรงงานได้อย่างมาก
ตัวเตือนการปรับเทียบ: การเลื่อนของเซ็นเซอร์ส่งผลต่อความแม่นยำของตู้เก็บแผ่นเวเฟอร์ เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดของ ISO รุ่นนี้มีฟังก์ชันเตือนการหมดอายุของการสอบเทียบ เมื่อเซ็นเซอร์ทำงานเกินวันที่กำหนด จุดทศนิยมในตัวควบคุมจะกะพริบเพื่อเตือนผู้ใช้ ฟังก์ชันนี้ช่วยประหยัดกำลังคนได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ความแตกต่างระหว่างตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสและตู้แห้งแบบอิเล็กทรอนิกส์:
1. ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสบรรจุก๊าซไนโตรเจนเพื่อบีบอากาศชื้นดั้งเดิมออกจากตู้เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมการป้องกันก๊าซเฉื่อย วิธีนี้ช่วยปกป้องส่วนประกอบที่ไวต่อออกซิเจนจากการถูกออกซิไดซ์อย่างมาก
สแตนเลสตู้เก็บเวเฟอร์ตู้เก็บไนโตรเจนเพื่อตอบสนองความต้องการความชื้นต่ำและป้องกันออกซิเดชัน ความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนแนะนำเป็น >99% สแตนเลสตู้เก็บเวเฟอร์มักใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์
ตู้แห้งแบบอิเล็กทรอนิกส์เป็นตู้แห้งที่มีความชื้นต่ำ ตู้เก็บความชื้นแบบแห้งลดความชื้น ซึ่งดูดซับความชื้นและระบายออกสู่ภายนอก เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมในการจัดเก็บความชื้นต่ำ มีความสามารถในการควบคุมความชื้น
2. ตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสใช้ก๊าซเฉื่อยเพื่อสร้างสภาพแวดล้อมที่มีปริมาณออกซิเจนต่ำ ผลิตภัณฑ์ที่วางลงในตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลสนั้นเป็นบรรจุภัณฑ์ที่ป้องกันความชื้นโดยทั่วไป การเกิดออกซิเดชันเกิดขึ้นได้ยาก
ตู้แห้งแบบอิเล็กทรอนิกส์สามารถควบคุมความชื้นได้เท่านั้น ไม่มีฟังก์ชันป้องกันการเกิดออกซิเดชัน ปริมาณออกซิเจนเกือบเท่ากับสภาพแวดล้อมโดยรอบ
ทำไมตู้เก็บเวเฟอร์สเตนเลสสตีลของคุณจึงไม่สามารถรับความชื้นต่ำได้?
หากตู้เก็บเวเฟอร์สเตนเลสสตีลมีความชื้นต่ำไม่ได้ มีเพียงสองเหตุผลเท่านั้นคือ "แก๊สเข้า" และ "แก๊สออก"
"ก๊าซใน" แสดงถึงปริมาณไนโตรเจนที่เติมเข้าไปไม่เพียงพอ รวมถึงการเปิดประตูบ่อยครั้ง ปริมาณไนโตรเจนที่เล็ดลอดออกมานั้นมากกว่าปริมาณไนโตรเจนที่เติม ซึ่งไม่สามารถสร้างสภาพแวดล้อมที่ล้อมรอบด้วยไนโตรเจนได้ ส่งผลให้มีความชื้นสูงภายในตู้ N2
"แก๊สออก" หมายถึงประสิทธิภาพการปิดผนึกที่ไม่ดีของตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลส ไนโตรเจนที่เติมเข้าไป แต่ในไม่ช้าก็หนีออกจากตู้ หากปริมาณการหลบหนีมีขนาดใหญ่ ความเข้มข้นของไนโตรเจนในสแตนเลสตู้เก็บเวเฟอร์จะค่อนข้างต่ำ ความชื้น จะสูงและไม่สามารถดำเนินการป้องกันออกซิเดชันที่ดี
มีสองวิธีแก้ปัญหา: หนึ่งคือการปรับปรุงความหนาแน่นของอากาศของตู้เก็บเวเฟอร์สแตนเลส และอื่น ๆ คือการเพิ่มปริมาณไนโตรเจน ผู้ใช้สามารถปรับการไหลของไนโตรเจนบนมิเตอร์วัดการไหล โปรดใส่ใจกับจุดข้างต้นก่อนเลือกตู้ไนโตรเจน
สำหรับรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับตู้เก็บแผ่นเวเฟอร์สแตนเลส กรุณาเยี่ยมชมเว็บไซต์ของเรา www.climatetsymor.com หรือส่งอีเมลไปที่ sales@climatetsymor.com โดยตรง เราจะติดต่อกลับโดยเร็วที่สุด ยินดีต้อนรับสำหรับการทำงานร่วมกันที่เป็นไปได้