เตาอบบรรยากาศเฉื่อยหรือที่เรียกว่าเตาอบไร้อากาศ ได้รับการออกแบบมาเพื่อการบำบัดความร้อนโดยใช้ก๊าซที่ไม่ออกซิไดซ์ เช่น ไนโตรเจน ในสภาพแวดล้อมที่ปิดผนึก ซึ่งเหมาะสำหรับการบำบัดความร้อนภายใต้บรรยากาศที่มีความเข้มข้นของออกซิเจนต่ำ
คำอธิบาย
ซีรีส์เตาอบบรรยากาศเฉื่อยใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการอบเวเฟอร์ซิลิคอน แกลเลียมอาร์เซไนด์ ลิเธียมไนโอเบต แก้วก่อนการเคลือบ PR การอบฟิล์มแข็งหลังการเคลือบ PR และการอบที่อุณหภูมิสูงหลังการพัฒนา นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับแผนกการผลิตและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ เช่น จอแสดงผลคริสตัลเหลวอิเล็กทรอนิกส์, LCD, CMOS, IS และห้องปฏิบัติการ นอกจากนี้ยังสามารถใช้สำหรับการอบแห้ง การแปรรูปด้วยความร้อน การเสื่อมสภาพ และการทดสอบที่อุณหภูมิสูงอื่นๆ ของสิ่งของที่ไม่ระเหย ไม่ติดไฟ และไม่ระเบิด
พารามิเตอร์หลัก
►พารามิเตอร์ทางเทคนิค
ความจุ: ปรับแต่งตามผลิตภัณฑ์
ช่วงอุณหภูมิ: โดยรอบ + 50°C ~ 250°C
ปริมาณออกซิเจน: ≤50ppm
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: ± 2.5%
อัตราการเพิ่มความเร็ว: ควบคุมได้
ช่องเติมไนโตรเจน: Φ8
การไหลของไนโตรเจน: 0-240L/min * 2 ช่อง
►โครงสร้าง
- เตาอบภายใน: ทำจากสแตนเลส เชื่อมด้วยแก๊สอาร์กอนไร้ตะเข็บ
- ปิดผนึกอย่างแน่นหนา: ห้องถูกปิดผนึกเพื่อลดระดับออกซิเจน
- โครงสร้างช่องอากาศเข้า: ปล่อยให้ก๊าซที่ไม่ออกซิไดซ์เข้ามาเติมเต็มห้อง
- เครื่องวิเคราะห์ O2: ปรับระดับออกซิเจนได้อย่างแม่นยำระหว่าง 0.5~ 21%
► ระบบควบคุมอุณหภูมิ
ตัวควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะ JAPAN RKC โปรแกรมและการตั้งค่าคงที่ การปรับอัตโนมัติ AT การแก้ไขออฟเซ็ต และการเก็บรักษาการปิดเครื่อง
► การหมุนเวียนอากาศแบบบังคับ
ท่อลมในระบบหมุนเวียนอากาศร้อนที่ได้รับการจดสิทธิบัตรสามารถปรับอุณหภูมิให้สม่ำเสมอได้โดยอัตโนมัติ
คุณสมบัติสำหรับเตาอบแบบไม่ใช้ออกซิเจน (เฉื่อย)
► สตูดิโอสเตนเลสสตีลปิดผนึกอย่างแน่นหนาเพื่อป้องกันการซึมผ่านของบรรยากาศภายนอก
► ใช้ก๊าซเฉื่อยไนโตรเจนสำหรับการบำบัดความร้อนแบบไม่ใช้ออกซิเจน
► มีการติดตั้งเครื่องวัดอัตราการไหลและเกจวัดความดัน
► อุปกรณ์ป้องกันความปลอดภัยแบบหลายชั้น
ตัวเลือก
► PLC+7” คอนโทรลเลอร์แบบตั้งโปรแกรมได้
► สัญญาณเตือนไฟกระพริบสามสี
► ตัวจำกัดอุณหภูมิเกิน
► อุปกรณ์นิรภัยแบบแมนนวล
เหตุใดจึงเลือกเตาอบบรรยากาศเฉื่อย
ในปัจจุบัน วัสดุการเดินสายไฟในวงจรได้เปลี่ยนจากอลูมิเนียมไปเป็นทองแดงซึ่งมีความต้านทานต่ำ ดังนั้นเมื่ออบด้วยความร้อนในเตาอบแห้งปกติ ชิ้นส่วนที่เป็นทองแดงก็สามารถออกซิไดซ์ได้ ทำให้เกิดข้อบกพร่องได้ นอกจากนี้ ยังดำเนินการบ่มที่อุณหภูมิ 250 องศาเซลเซียสเพื่อตรวจสอบว่าข้อมูลที่เขียนในหน่วยความจำแฟลชถูกลบเนื่องจากการย้ายถิ่นด้วยไฟฟ้าหรือไม่ และชิ้นส่วนกันกระแทกถูกออกซิไดซ์หรือไม่ ดังนั้นปริมาณออกซิเจนจึงต้องลดลงเหลือ <100ppm เตาอบแอนแอโรบิกนี้ได้รับการพัฒนาเพื่อตอบสนองความต้องการเหล่านี้
แอปพลิเคชัน
เตาอบบรรยากาศเฉื่อยส่วนใหญ่ใช้สำหรับการบ่มกาว BPO/กาว PI/การบ่มกาว BCB, IC (เวเฟอร์, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง และวัสดุอื่นๆ ในสภาพแวดล้อมที่มีออกซิเจนต่ำสำหรับการทดสอบการทำให้แห้งและการเสื่อมสภาพ .
